就
是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
-
智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
-
潔凈烘箱，百級無塵烘箱
-
氮氣烘箱，精密充氮烘箱
-
LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
-
熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
-
HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
-
智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
-
真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
-
精密烤膠臺，高精度烘膠機
-
超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
最新消息
熱搜：HMDS烘箱 無塵烤箱 無氧烤箱
新 聞 動 態
NEWS
HMDS黏附機 光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱——光刻之增粘設備
來源:
|
作者:雋思半導體設備部
|
發布時間: 2024-05-21
|
260 次瀏覽
|
分享到:
HMDS黏附機 光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱研發背景
集成電路光刻工藝中常使用HMDS對晶圓襯底進行黏附處理，來提高光刻膠與襯底的黏附性,HMDS中文名六甲基二硅氮烷（Si(CH3)3）2NH，行業所要求純度大于99.7%。
HMDS黏附機 光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱作用
襯底在空氣中易形成厚度為幾個原子層的二氧化硅薄膜，由于其具有親水性，會吸附空氣中的水分到襯底表面。光刻膠涂層多為有機疏水材料，這就造成了光刻膠與襯底黏附性差。在實際生產中，常將HMDS霧化，并在特定的溫度和壓力條件下處理，來改變晶圓表面的親水性。其原理可以簡述為HMDS中的有機基團取代晶圓表面水分子羥基，使晶圓表面由親水性變為疏水性。
HMDS黏附機 光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱實用性
在光刻中，光刻膠的黏附效果受到光刻涂層，襯底材料，以及光刻工藝三方面的影響。HMDS的黏附處理不只是對硅基襯底有效。也用于其他襯底，諸如多晶硅，石英，太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導體材料。
HMDS烘箱兼容2~12寸晶圓及碎片、方片等。
