就
是
對
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工
作
的
態
度
，
個產品，
做到極致認真
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產 品 中 心
products
智能型HMDS烘箱，HMDS預處理系統通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS 處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
智能型HMDS烘箱，HMDS預處理系統用途:
HMDS 預處理系統通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS 處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
智能型HMDS烘箱，HMDS預處理系統性能參數:
1、設備名稱：智能型HMDS烘箱
2、設備型號：JS-HMDS90-AI
3、設備主要技術參數
3.1 工作室尺寸：450×450×450，550×650×550（mm），可自定義
3.2 材質：外箱材質采用優質冷軋板噴塑，內箱采用316L 醫用級不銹鋼
3.3 溫度范圍：RT+10-250℃
3.4 溫度分辨率：0.1℃
3.5 溫度波動度：＜±1℃
3.6 真空度：≤133pa（1torr）
3.7 潔凈度：class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境
3.8 電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ 總功率約3.0KW
3.9 控制儀表：人機界面
3.10 擱板層數：2 層
3.11 HMDS 流量控制方式：通過設置充液時間控制HMDS 流量
3.11 真空泵：旋片油泵/進口干泵（全新）
3.12 保護裝置：漏電保護，超溫保護，HMDS 低液位報警等
智能型HMDS烘箱，HMDS預處理系統特點:
1、預處理性能更好
2、處理更加均勻
3、效率高
4、更加節省藥液
5、更加環保和安全
6、低液報警系統
7、自動吸取HMDS功能
8、HMDS氣體管路加熱系統
9、可自動添加HMDS功能
10、參數記錄功能
11、溫度程序鎖定功能
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