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是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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OAP烘箱，OAP處理烘箱
發布時間: 2022-11-17 16:39
OAP烘箱，OAP處理烘箱的工藝
光刻的作用是把掩模版上的各形轉換成晶圓十的器件結構，它對集成電路圖形結構的形成，如各層薄膜的各形及摻雜區域等，均起著決定性的作用。光刻的基本流程中第一步，前處理就是需要將基片親水性改為疏水性，即OAP(HMDS預處理)工藝。
OAP烘箱，OAP處理烘箱簡介
OAP處理烘箱，也稱為HMDS烘箱、HMDS預處理系統。用HMDS溶液:六甲基二硅胺烷)成底膜進行表面處理，它起到提高粘附力的作用，在硅片成底膜操作后盡快涂膠。OAP烘箱是采用氣相成底膜的方式來完成HMDS的涂覆工藝，優點是，整個工藝在密閉的環境中，外界沒有與硅片接觸減少了來自液體HMDS顆粒沾污的可能，HMDS的消耗量也小。
OAP烘箱指標
HMDS藥液泄漏報警提示功能
HMDS低液位報警提示功能
工藝數據記錄功能
HMDS管道預熱功能
程序鎖定保護等功能
內腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）
材質：外箱采用優質冷軋板噴塑，內箱采用 316L 醫用級不銹鋼
溫度范圍：RT+50-200℃
溫度波動度：≤±0.5
真空度：≤1torr
HMDS控制：可控制HMDS 藥液添加量
真空泵：無油渦旋真空泵
