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真空固化烤箱，防氧化真空系統(tǒng)
    發(fā)布時間: 2021-09-26 13:42    

一、真空固化烤箱，防氧化真空系統(tǒng)用途 

 無氧真空系統(tǒng)用于鍵合前鍵合材料的真空處理 、ITO膜退火，PR膠排膠固化等工藝。廣泛應用于半導體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)，適用于工廠、高等院校、科研等場所。

二、真空固化烤箱，防氧化真空系統(tǒng)技術性能參數(shù)

1、設備名稱：

名稱

 無氧真空系統(tǒng)

2、設備型號：

型號

 JS-GYZF系列

3、設備主要技術參數(shù)：                                                       

3.1 工作室尺寸

450×450×450，600×600×600（mm）

3.2  材質(zhì)

內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑

3.3 溫度范圍

RT+10-300/450℃ 

3.4 溫度分辨率

0.1℃

3.5 溫度波動度

≤±1℃

3.6 溫度均勻度

≤2%MFS

3.7 升溫速率

≤10℃/min

3.8 降溫速率

特殊要求數(shù)據(jù)

3.9 真空度

≤133pa或要求數(shù)據(jù)

3.10 電源及總功率

AC220V、 380V±10% / 50HZ        

3.11 溫度控制儀表

可編程觸摸屏儀表，可校準溫度，PID自整定等功能

3.12擱板層數(shù)

316L不銹鋼托盤2層，配有限位裝置

3.13真空泵

油泵/干泵

3.14 腔門密封圈

采用耐高溫硅橡膠密封圈

3.15 狀態(tài)指示燈

配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機臺運行狀態(tài)

3.16 氧含量

特殊要求數(shù)據(jù)

3.17 潔凈度

Class100、1000級

3.18 降溫系統(tǒng)

選配

3.19 氮氣控制

工藝要求

3.20 安全保護裝置

安全的接地保護裝置，超溫保護及報警裝置，漏電保護裝置。