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一．無塵無氧烤箱，PI膠固化烤箱概述

  應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.

二．無塵無氧烤箱，PI膠固化烤箱技術參數

1.主要技術指標

? 材質：外箱采用優質不銹鋼，內箱采用SUS304不銹鋼

? 溫度范圍：RT+10-200、400℃

? 溫度分辨率：0.1℃

? 溫度波動度：＜±1℃

? 溫度均勻度：≤±2%

? 潔凈度：class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境

? 升溫時間：5-8℃/min，（空箱測試）

? 降溫時間：可滿足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）

? 氧含量

高溫狀態氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量

低溫狀態氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量

? 數據輸出：溫度和氧含量無紙記錄儀

2.系統結構

? 熱風循環系統：采用覆套式電熱器）無塵無氧化電熱發生器

? 氣體系統：HEPA過濾效果可達99.99%,Class100箱體內裝有氧含量分析儀

? 水冷系統：翅片式水冷散熱器，冷卻水通過散熱器快速帶走更多的熱量，使得箱內溫度快速下降

? 溫控系統：采用日本RKC-PF900溫度控制器，內置斜率設定、PID自整定

? 軟件系統：控制系統采用日本三菱公司FX3G系列高速型邏輯控制器，可與現場總線聯機遠程操控

3. 安全保護性能

? 報警功能：1）三色報警燈  2）超溫報警    3）熱電偶故障報警   4）低水壓報警

? 安保功能：1）短路保護

 2）漏電保護

 3）超溫保護，獨立感溫式超溫保護器

 4）電機保護，電機過電流、水冷保護

 5）電磁門禁保護，當溫度超過100℃，電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門

三、無塵無氧烤箱，PI膠固化烤箱安裝條件

? 環境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；

? 周圍無強烈震動；    

? 無陽光直接照射或其它熱源直接輻射，

? 周圍無強烈電磁場影響；

? 周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質；

? 百級潔凈車間；

? 周圍無強烈氣流，當周圍空氣需要強制流動時，氣流不應在直接吹到箱體上；

? 設備應放在堅固平穩的平面上，并使其保持水平狀態；

? 安裝設備使用空開電源 ；

四．無塵無氧烤箱，PI膠固化烤箱常用規格