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  • 智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱,精密充氮烘箱
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮氣烘箱
  • 熱風循環真空烘箱,高溫熱風真空烤箱
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  • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
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快訊:我司精密恒溫加熱臺與國內高科技創新中心合作成功
來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發布時間: 2022-04-22 | 739 次瀏覽 | 分享到:

近日我司精密恒溫加熱臺與國內高科技創新中心合作成功,驗收任務完成。

   該中心在柔性電子相關的材料、傳感、芯片、電路及算法等研究領域處于領 先水平。還牽頭成立了浙江省柔性電子制造業創新中心,已形成了柔性電子技術體系化發展的格局。

    通過國家重大任務牽引,承擔大量國 家級重大科研項目,攻關國家戰略領域關鍵技術來服務和支撐柔性電子技術行業的發展。


精密恒溫加熱臺,恒溫熱板概述:

   用于晶圓的單面烘烤,可用于預烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩定度高,重復性好??稍诠さV企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。

精密恒溫加熱臺,恒溫熱板技術性能

加熱面積尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸定制  

控溫范圍:室溫--200、300/400/500/600℃

溫度分辨率 :0.1℃     

溫度波動度:≤±0.5℃         

溫度均勻性:≤±0.5/1℃ 

電源輸入:AC220V 10A           

加熱功率:1500W 

熱板表面: 由硬質陽極氧化鋁制成