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潔凈烘箱，無塵烘箱在PEB工藝的應(yīng)用
來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時間: 2024-02-22 | 331 次瀏覽 | 分享到:

后曝光氮?dú)夂嫦洌琍EB無塵烘箱應(yīng)用工藝

   無塵烘箱所使用的高溫（100-130°C）會使光敏化合物擴(kuò)散，從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化，專用于半導(dǎo)體，集成電路。

  一種減少駐波效應(yīng)的方法稱為后曝光烘烤（PEB）。所使用的高溫（100-130°C）會使光敏化合物擴(kuò)散，從而消除駐波波紋。重要的是要注意，高溫對光刻膠的有害影響，如上所述的PAB，也適用于PEB。因此，優(yōu)化烘烤條件變得非常重要。此外，曝光產(chǎn)物的擴(kuò)散速率取決于PAB條件-存在溶劑可以增強(qiáng)PEB過程中的擴(kuò)散。因此，低溫后曝光烘烤可以在給定的PEB溫度下產(chǎn)生更大的擴(kuò)散。

  對于常規(guī)光刻膠，PEB的主要意義在于消除駐波的擴(kuò)散。對于另一類稱為化學(xué)增強(qiáng)光刻膠的光刻膠，PEB是產(chǎn)生曝光和未曝光部分光刻膠可溶解度差異的化學(xué)反應(yīng)的必要組成部分。對于這些光刻膠，曝光產(chǎn)生一小部分強(qiáng)酸，它本身不會改變光刻膠的溶解度。在后曝光烘烤期間，這種光產(chǎn)生的酸催化了一種反應(yīng)，改變了光刻膠中聚合物樹脂的溶解度。對于化學(xué)增強(qiáng)光刻膠，PEB的控制非常關(guān)鍵。

后曝光氮?dú)夂嫦洌琍EB無塵烘箱性能

潔凈度：Class100;     

溫度：RT+15～300℃；
工藝氣體：N2 

計時功能：0-99H99M99S 

設(shè)備材質(zhì)：內(nèi)部SUS304不銹鋼           

工作尺寸（mm）：

450×450×450(4)

500×500×550(6)

600×600×700(8)

（可定制）          

網(wǎng)板：活動式2塊

無塵烘箱，百級潔凈烘箱適用性：

氮?dú)夂嫦湟策m用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研.